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○ 產品介紹
TN-OTF-1200X-80-3F是一款CE認證的三溫區管式爐CVD系統，其管徑為80mm，采用機械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統組成，其真空度可達到 10-2 torr。
○ 產品特點
雙層殼體結構并帶有風冷，使得殼體的表面溫度小于60度
保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環保節能
內爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
可開啟式，更換爐管方便
○ 技術參數
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殼體結構 |
雙層殼體結構并帶有風冷，使得殼體的表面溫度小于60度 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環保節能 內爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 可開啟式，更換爐管方便 |
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功率 |
5 KW |
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電壓 |
AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
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加熱元件 |
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
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*高工作溫度 |
1200℃ |
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連續工作溫度 |
1100℃ |
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*大加熱速率 |
≤20 ℃/min |
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石英管& 密封法蘭 |
80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內 儀器上已經安裝有不銹鋼真空密封法蘭，壓力表和閥門 |
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加熱區長度 |
三個溫區長度: (880mm, 35" in total) 溫區 1: 220mm (8.6" ) 溫區 2: 440mm (17.3") 溫區 3: 220 mm (8.6") 注：由于測量手段及外部環境的影響，測量結果可能會有偏差，此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。 |
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溫控系統 |
三個精密溫度控制器，可獨立控溫 PID控制方式,通過PWM固體繼電器。 30段可編程智能溫度調節儀，并可設置30段升降溫程序. 帶有過熱和斷偶保護功能 |
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控溫精度 |
+/- 1℃ |
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真空密封系統
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兩個不銹鋼密封法蘭 通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵，真空度可以達到10-4 torr. 漏氣率 < 5 m-torr / min |
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真空泵 |
采用雙旋機械泵，機械泵上安裝有進口的油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產生的油煙，減少泵油的損耗，保護環境和人體健康，過濾的*小微粒直徑為0.3微米 |
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數字式真空顯示計 |
可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換 |
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氣體流量計和壓力表
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三個浮子流量計，能夠檢測到氣體的流 三路浮子量程分別為 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 內部安裝有一混氣罐 有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統側面上，可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力 |
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閥門 |
四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統側面上，用于控制氣體的流量 |
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外形尺寸 |
爐子: 1100 X 450 x 670mm 底部移動架: 600x600x597mm |
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開門斷電 |
為保證使用**，該電爐為開門斷電設計 |
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凈重 |
約 90 Kg |
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運輸重量 |
245 lbs |
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質保期 |
一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件 |
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質量認證 |
CE certified |
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使用注意事項 |
爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加**** 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
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