產品名稱：等離子增強型CVD系統

結構特點

? 150W射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度

  ? 3通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精準的調控 

工作電源

 ? AC208-220V，50/60Hz

? 總功率：4KW

單溫區管式爐

 ? 較高溫度：1100oC(< 2h) 連續工作溫度：1000℃

 ? PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統 

? 輸入功率：220V，單相，功率：1.5KW

? 加熱區長度：200mm，恒溫區：100mm 

? 爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管 

等離子射頻電源

? 輸出功率：0-150W可調（穩定性：±1%）

? 射頻頻率：13.56MHz(穩定性：±0.005%)

? 較大反射功率：150W

 ? 匹配：自動匹配

? 射頻輸出端口：50Ω、N型

? 噪音：＜50dB

? 冷卻: 空氣冷卻

? 電源: 220VAC, 50/60Hz 

石英管

? 高純石英管

? 尺寸：φ50mm*1200mm L 

密封法蘭  

? 一對不銹鋼快接法蘭（法蘭上安裝有KF25真空接頭）

真空泵（該部分為選配，單獨計費）

? 雙級真空泵 

? KF16卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵 

3通道質子流量計控制系統（該部分為選配，單獨計費）

? 4通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精準控制（精準度：±0.02%） 

? 流量范圍: 

一路: 0~100 SCCM 

二路: 0~200 SCCM 

三路: 1~200 SCCM 

? 電壓：220V AC 50/60Hz

? 氣體進出口配件：直徑6.35mm不銹鋼管

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出

尺寸和重量

 ? 1400mm L x 600mm W x 1240mm H

 ? 凈重：90kg  

質保期

? 一年質保期，終生維護（石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外）

質量認證

 ? CE認證 

使用注意事項

? 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 

? 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥 

? 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 

? 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

 ? 石英管的長時間使用溫度＜1100℃

 ? 對于樣品加熱的實驗，使用時不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生。