• 產品詳情
    • 產品名稱:迷你石墨烯CVD實驗室設備

    • 產品型號:
    • 產品廠商:泰諾
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    簡單介紹:
    迷你石墨烯CVD實驗室設備采用1200℃迷你管式爐,功能齊全占地面積較小,迷你石墨烯CVD實驗室設備專為石墨烯生產設計。
    詳情介紹:

    ○ 產品介紹

    本套CVD系統專為石墨烯生產設計,采用1200℃迷你管式爐,配有高精度質量流量計以及薄膜真空規。相比于常規的皮拉尼電阻規,薄膜規的讀數精準,不受氣體種類影響,十分適合真空鍍膜工藝。同時設備配有可燃氣體檢測裝置,聯動出氣口電磁閥,一旦出現泄漏電磁閥即可自行關閉保證**。
    該套設備功能齊全占地面積較小,十分適合實驗室制備CVD

    ○ 技術參數    

    1200℃迷你管式爐參數 

    供電電壓 AC220V,50Hz
    *大功率 2KW
    加熱溫區 單溫區200mm 恒溫區長 100mm
    加熱元件
    耐熱合金絲
    熱電偶
    K型
    工作溫度
    ≤1150℃
    升溫速率
    建議≤10℃
    控溫
    方式AI-PID 30段工藝曲線,帶有過熱和斷偶保護,精度+-1℃
    爐管
    高純石英φ50mm O.D x 450mm L
    真空系統
    機械泵  抽速1.1L/s 極限真空 5Pa
    三路質量流量計參數

    閥門類型
    不銹鋼針閥
    氣路數量
    三路
    承壓范圍
    0.05~0.3MPa
    量程
    Ar 0~500sccm
    H2 0~200sccm
    CH4 0~10sccm
    流量控制范圍
    ±1.5%
    混氣罐容積
    750mL
    氣路材料
    304不銹鋼
    管道接口
    6.35mm卡套接頭
    供電電源
    AC220V 50Hz

    ○ 免責聲明

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