產品詳情
  • 產品名稱:小型單靶等離子濺射鍍膜儀

  • 產品型號:TN-PSP180G-TA
  • 產品廠商:泰諾
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
小型單靶等離子濺射鍍膜儀是我公司研發的實驗室用小型鍍膜儀(基礎型),PLC控制系統,全部觸摸屏操作操作簡單便捷,小型單靶等離子濺射鍍膜儀可濺射Au、Ag、Cu,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。
詳情介紹:

產品介紹

TN-PSP180G-TA小型單靶等離子濺射鍍膜儀采用二級濺射方式,低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。 

適用范圍

廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。

○ 產品特點

1:二級低溫等離子體濺射工藝

2:PLC控制系統,全部觸摸屏操作。

3:體積小巧造型美觀。

○ 技術參數

產品型號

TN-PSP180G-TA

外形尺寸

500×320×470mm

重量

30kg

電源

220V 50Hz

輸入功率

1500W(含真空泵)

輸出電壓

1200V DC

輸出電流

50mA(Max電流)

鍍膜腔尺寸

Φ180×210mm

樣品臺尺寸

Φ100mm

可選購加熱型樣品臺,溫度可高達500℃,*長濺射時間不可超過5分鐘

真空泵

雙極旋片真空泵,1.1L/s(4m3/h)

進氣口

裝有精密可調針閥,得以方便的調節進氣量

靶材尺寸

Φ50mm,厚度0.5~3mm

靶材材質

可選Au、Ag、Pt、Cr、Ni

包裝

三合板木質包裝

○ 免責聲明

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